該校最早的淵源可以追溯到由腓特烈二世在1770 年10月發(fā)起創(chuàng)立的采礦學(xué)院。另一個源頭是1799年3月13日創(chuàng)建的建筑學(xué)院。第三個來源是初創(chuàng)于1821年的皇家職業(yè)學(xué)院。1879年，由三個學(xué)院合并成立皇家柏林工業(yè)高等學(xué)院(Koenigliche Technische Hochschulezu Berlin),亦稱夏洛騰堡工學(xué)院（Technische Hochschule Charlottenburg）。該校是德國始創(chuàng)最早的高等工業(yè)學(xué)院，并在1899年開始頒發(fā)博士文憑。
在第三帝國時期設(shè)立了防衛(wèi)技術(shù)專業(yè)，導(dǎo)致學(xué)校從1945年4月20日起被關(guān)閉了一段時間。當(dāng)學(xué)校在1946年4月9日重新開始教學(xué)時，新開設(shè)了人文類的專業(yè)，使得學(xué)院升格為大學(xué)，開始啟用新名稱：柏林工業(yè)大學(xué)（Technische Universit?t Berlin），也是德國第一所工業(yè)大學(xué)（Technische Universit?t）。
