該校最早的淵源可以追溯到由腓特烈二世在1770 年10月發(fā)起創(chuàng)立的采礦學院。另一個源頭是1799年3月13日創(chuàng)建的建筑學院。第三個來源是初創(chuàng)于1821年的皇家職業(yè)學院。1879年,由三個學院合并成立皇家柏林工業(yè)高等學院(Koenigliche Technische Hochschulezu Berlin),亦稱夏洛騰堡工學院(Technische Hochschule Charlottenburg)。該校是德國始創(chuàng)最早的高等工業(yè)學院,并在1899年開始頒發(fā)博士文憑。
在第三帝國時期設立了防衛(wèi)技術專業(yè),導致學校從1945年4月20日起被關閉了一段時間。當學校在1946年4月9日重新開始教學時,新開設了人文類的專業(yè),使得學院升格為大學,開始啟用新名稱:柏林工業(yè)大學(Technische Universit?t Berlin),也是德國第一所工業(yè)大學(Technische Universit?t)。